K.Takaki D.Koseki, T.Fujiwara: "Heat flux distribution on a substrate in capacitively coupled radio-frequency discharges"Applied Physics Letters. 80・9(in press). (2002)
K.Takaki D.Koseki, T.Fujiwara: "Heat flux distribution on a substrate in capacitively coupled radio-frequency discharges"Applied Physics Letters. 80・9(in press). (2002)
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K.Takaki D.Koseki、T.Fujiwara：“电容耦合射频放电中基板上的热通量分布”应用物理快报 80・9（印刷中）。
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