Investigation of Incubation Time for Carbon Nanotube Growth by CH_4/H_2 Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
Investigation of Incubation Time for Carbon Nanotube Growth by CH_4/H_2 Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
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CH_4/H_2等离子体增强化学气相沉积碳纳米管生长培育时间的研究
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
酒井洋輔
中科院分区：
文献类型：
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作者：
沖田篤士;須田善行;小田昭紀;中村潤児;菅原広剛;酒井洋輔
