溶液法IGZO-TFTのオゾンガス検出感度に焼成温度が与える影響
溶液法IGZO-TFTのオゾンガス検出感度に焼成温度が与える影響
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烧成温度对溶液法IGZO-TFT臭氧气体检测灵敏度的影响
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
石井 啓介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
笹島 宏青; 森本 貴明; 石井 啓介
