Digital microscope observation of the initial stage of cutting monocrystalline silicon

Digital microscope observation of the initial stage of cutting monocrystalline silicon
复制标题

单晶硅切割初期的数码显微镜观察

DOI:
--
复制
发表时间:
2009
期刊:
CIRP Annals Manufacturing Technology Vo1.58, No.1
影响因子:
--
通讯作者:
武澤伸浩
武澤伸浩
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
稲村豊四郎;宍倉由記子;武澤伸浩

文献摘要

相似文献