高速分子線セル加熱機構の改良によるプロセス時間の短縮

高速分子線セル加熱機構の改良によるプロセス時間の短縮
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通过改进高速分子束池加热机制缩短工艺时间

DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
中村 雅一
中村 雅一
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
松本 拓也;信長 賢輝;松原 亮介;鄭 敏喆;小島広孝;辨天 宏明;中村 雅一

文献摘要

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