Rapid annealing of metal thin films by micron chevron-shaped laser beam scanning
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复制标题
微米人字形激光束扫描金属薄膜快速退火
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Ohba
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A.H. Pham;N. Fukunaga;W. Yeh;S. Morito;T. Ohba
