极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗
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DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
彭忠琦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
宋源;卢启鹏;龚学鹏;王依;彭忠琦
