Cluster-growth analysis by optical emission spectroscopy in a magnetron-sputtering metal-cluster source
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复制标题
磁控溅射金属团簇源中的光发射光谱分析团簇生长
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masashi Arakawa and Akira Terasaki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Satoshi Kono;Masashi Arakawa and Akira Terasaki
