刃状転位ネットワークの選択エッチングによるSiGeナノドット二次元配列構造の形成
刃状転位ネットワークの選択エッチングによるSiGeナノドット二次元配列構造の形成
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边位错网络选择性刻蚀形成SiGe纳米点二维阵列结构
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
酒井朗
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中村芳明;高橋雅彦;吉川純、中塚修、財満鎭明;酒井朗
