On-Chip Precision Residual Strain Diagnostic Based on Gap-Dependent Electrical Stiffness
On-Chip Precision Residual Strain Diagnostic Based on Gap-Dependent Electrical Stiffness
复制标题
基于间隙相关电刚度的片上精密残余应变诊断
DOI：
10.1109/transducers.2019.8808299
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Nguyen, Clark T.-C.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ozgurluk, Alper;Nguyen, Clark T.-C.
