混晶化法を用いたAlAs選択酸化特性の数値解析

混晶化法を用いたAlAs選択酸化特性の数値解析
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混合结晶法对AlAs选择氧化特性的数值分析

DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
魏徹,宮本智之
魏徹,宮本智之
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Kuniaki Konishi;Makoto Kuwata-Gonokami;小西邦昭;小西邦昭;魏徹,宮本智之;魏徹,宮本智之

文献摘要

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