MOVPE成長中の極性面AlN表面における吸着原子の安定性解析
MOVPE成長中の極性面AlN表面における吸着原子の安定性解析
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MOVPE 生长过程中极性 AlN 表面吸附原子的稳定性分析
DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
三宅秀人
中科院分区:
文献类型:
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作者:
稲富悠也;寒川義裕;岩谷素顕;三宅秀人