Development of curling probe for monitoring of reactive plasmas
Development of curling probe for monitoring of reactive plasmas
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开发用于监测反应等离子体的卷曲探针
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Nakamura and H. Sugai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
塩満栄一;木野裕昌;有吉純也;有村拓也;迫田達也;馬場誠二;貴島純次;中島秀之;K. Nakamura and H. Sugai
