Si/Polymerヒンジを組み合わせた2軸Hybrid-MEMSミラー
Si/Polymerヒンジを組み合わせた2軸Hybrid-MEMSミラー
复制标题
结合硅/聚合物铰链的 2 轴混合 MEMS 反射镜
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鈴木孝明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山下紘史;寺尾京平;高尾英邦;下川房男;大平文和;鈴木孝明
