N.Moronuki: "Linear Motion Microsystem Fabricated on a Silicon Water"Int.Journal of JSPE. 33,2. 83-86 (1999)
N.Moronuki: "Linear Motion Microsystem Fabricated on a Silicon Water"Int.Journal of JSPE. 33,2. 83-86 (1999)
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N.Moronuki：“硅水上制造的线性运动微系统”JSPE 国际期刊。
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