Microscopic behaviour of ultraprecision positioning mechanism driven by ball screw with external axial load

Microscopic behaviour of ultraprecision positioning mechanism driven by ball screw with external axial load
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轴向外载荷滚珠丝杠驱动超精密定位机构的微观行为

DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
Proceedings of the 17th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology
影响因子：
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通讯作者：
Soichiro Koike
Soichiro Koike
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Shigeo Fukada;Soichiro Koike

文献摘要

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