定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査（第23報）ー2光束干渉定在波照明と参照光によるコヒーレント超解像法ー
定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査（第23報）ー2光束干渉定在波照明と参照光によるコヒーレント超解像法ー
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利用驻波位移对半导体晶片表面进行超分辨光学缺陷检查（第23次报告） - 使用两束干涉驻波照明和参考光的相干超分辨方法 -
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
久米大将，道畑正岐，高増 潔，高橋 哲
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kido Kohei;Yokokawa Takumi;Ato Satoru;Sato Koji;Fujita Satoshi;久米大将，道畑正岐，高増 潔，高橋 哲
