“TDTR法を用いたテラヘルツ検出用GaAs MEMS両持ち梁構造の評価”
“TDTR法を用いたテラヘルツ検出用GaAs MEMS両持ち梁構造の評価”
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“使用 TDTR 方法评估用于太赫兹检测的 GaAs MEMS 双面梁结构”
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
平川一彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
細野優;張亜;J. Maire;長井奈緒美;肥後昭男;中野義昭;野村政宏;平川一彦
