トーラス型プラズマ装置を用いた窒素原子ラジカル源の開発
トーラス型プラズマ装置を用いた窒素原子ラジカル源の開発
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利用环形等离子体装置开发氮原子自由基源
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
浅岡晃次，大野哲靖，林祐貴，梶田信，田中宏彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N.Ohno;K.Asaoka;S.Kajita;H.Tanaka;Y.Hayashi;浅岡晃次，大野哲靖，林祐貴，梶田信，田中宏彦
