30nm分解能を実現する実験室EUV顕微鏡の開発
30nm分解能を実現する実験室EUV顕微鏡の開発
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开发出分辨率达到 30nm 的实验室 EUV 显微镜
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
豊田光紀
中科院分区：
文献类型：
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作者：
相澤駿介;角館俊行;権代詩織;豊田光紀;豊田光紀;Mitsunori Kurahashi;豊田光紀
