Aluminum and Boron Diffusion into (1-100) Face SiC Substrates
Aluminum and Boron Diffusion into (1-100) Face SiC Substrates
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铝和硼扩散到 (1-100) 面 SiC 衬底中
DOI：
10.4028/www.scientific.net/msf.389-393.557
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发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Sudarshan
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Soloviev;Ying Gao;Y. Khlebnikov;I. Khlebnikov;T. Sudarshan
