パルスインジェクション法で成長したA1N薄膜の極性と不純物濃度 (Polarity and impurity incorporation of A1N thin films grown by pulse-injection method)
パルスインジェクション法で成長したA1N薄膜の極性と不純物濃度 (Polarity and impurity incorporation of A1N thin films grown by pulse-injection method)
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脉冲注入法生长的AlN薄膜的极性和杂质掺入
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
霜垣幸浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
梁正承;ハッサネット・ソーダバンルー;脇一太郎;杉山正和;中野義昭;霜垣幸浩
