M.Goto: "Lower-Temperature Growth of Hydrogenated Amorphous Silicon Films from Inductively Coupled Silane Plasma" Japanese Journal of Applied Physics. 35(8). L1009-1011 (1996)
M.Goto: "Lower-Temperature Growth of Hydrogenated Amorphous Silicon Films from Inductively Coupled Silane Plasma" Japanese Journal of Applied Physics. 35(8). L1009-1011 (1996)
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M.Goto：“来自感应耦合硅烷等离子体的氢化非晶硅薄膜的低温生长”日本应用物理学杂志。
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