Polymer Screening Method for Chemically Amplified Electron Beam and X-Ray Resists
Polymer Screening Method for Chemically Amplified Electron Beam and X-Ray Resists
复制标题
化学放大电子束和X射线抗蚀剂的聚合物筛选方法
DOI：
--
复制
发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
S.Tagawa
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
H.Yamamoto;A.Nakano;K.Okamoto;T.Kozawa;S.Tagawa
通过基础基质聚合物的分子控制抑制化学放大抗蚀剂中的酸扩散
影响因子：
1.5
作者：
T. Yoshimura;H. Shiraishi;S. Okazaki
通讯作者：
S. Okazaki