タルボットリソグラフィにおけるホログラムを用いたナノ周期構造の形状制御
タルボットリソグラフィにおけるホログラムを用いたナノ周期構造の形状制御
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在塔尔博特光刻中使用全息图控制纳米周期结构的形状
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高谷裕浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中西弘樹;水谷康弘;牧浦良彦;横田博;高谷裕浩
