SiC(0001)基板上に成長した大きな圧縮歪みを内包するAlN薄膜の光学特性および格子振動数評価
SiC(0001)基板上に成長した大きな圧縮歪みを内包するAlN薄膜の光学特性および格子振動数評価
复制标题
SiC(0001)衬底上大压应变AlN薄膜的光学性能和晶格频率评估
DOI：
--
复制
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
須田淳
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
金子光顕;奥村宏典;石井良太;船戸充;川上養一;木本恒暢;須田淳
