低エネルギー有機ケイ素イオンビームの生成とSiC等成膜への応用
低エネルギー有機ケイ素イオンビームの生成とSiC等成膜への応用
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低能有机硅离子束的产生及其在SiC等成膜中的应用
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
木内正人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉村智;杉本敏司;竹内孝江;木内正人
