Hidehiko YASUI, Akio YAMAMOTO, Toshiro HIGUCHI: "Electrostatic Levitation of 300-mm Silicon Water"Proc.ISIM 2000. 51-54 (2000)
Hidehiko YASUI, Akio YAMAMOTO, Toshiro HIGUCHI: "Electrostatic Levitation of 300-mm Silicon Water"Proc.ISIM 2000. 51-54 (2000)
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Hidehiko YASUI、Akio YAMAMOTO、Toshiro HIGUCHI：“300 mm 硅水的静电悬浮”Proc.ISIM 2000. 51-54 (2000)
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