K.Komai, K.Minoshima, H.Tawara and S.Inoue: "Fracture Behavior of Single-Crystalline Si Microelement." Proc.JSME. No.934-1. 46-48 (1993)
K.Komai, K.Minoshima, H.Tawara and S.Inoue: "Fracture Behavior of Single-Crystalline Si Microelement." Proc.JSME. No.934-1. 46-48 (1993)
复制标题
K.Komai、K.Minoshima、H.Tawara 和 S.Inoue：“单晶硅微元件的断裂行为”。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
