深掘りドライエッチング加工を用いたミリ波観測用広帯域シリコンフィルターの開発
深掘りドライエッチング加工を用いたミリ波観測用広帯域シリコンフィルターの開発
复制标题
利用深度干法刻蚀工艺开发用于毫米波观测的宽带硅滤波器
DOI：
--
复制
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
長谷部 孝
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Y. Shigekawa;T. Yokokita;Y. Komori;and H. Haba;長谷部 孝
