Nano Imprint Technology for Metal Induced Crystallization of Silicon and TFT Application
Nano Imprint Technology for Metal Induced Crystallization of Silicon and TFT Application
复制标题
金属诱导硅晶化纳米压印技术及TFT应用
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Asano
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Maeda;et al.;T.Asano
