Y. C. Liu: "In-situ infrared relective absorption spectroscopy characterization of SiN films deposited using sputtering-type ECR microwave plasma" Appl. Surf. Sci.121/122. 233-236 (1997)
Y. C. Liu: "In-situ infrared relective absorption spectroscopy characterization of SiN films deposited using sputtering-type ECR microwave plasma" Appl. Surf. Sci.121/122. 233-236 (1997)
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Y. C. Liu：“使用溅射型ECR微波等离子体沉积的SiN薄膜的原位红外反射吸收光谱表征”Appl。
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