Deposition of diamond-like carbon using double-pulse target voltage on high power pulsed magnetron sputtering
Deposition of diamond-like carbon using double-pulse target voltage on high power pulsed magnetron sputtering
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高功率脉冲磁控溅射双脉冲靶电压沉积类金刚石碳
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Takayuki Ohta
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiro Kunieda;Akinori Oda;Hiroyuki Kousaka;Takayuki Ohta
