リンドープn形ダイヤモンドへのホウ素イオン注入によるp形伝導層の形成

リンドープn形ダイヤモンドへのホウ素イオン注入によるp形伝導層の形成
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通过硼离子注入磷掺杂n型金刚石形成p型导电层

DOI:
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发表时间:
2023
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
牧野 俊晴
牧野 俊晴
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
小倉 政彦;西村 智朗;加藤 宙光;竹内 大輔;山崎 聡;牧野 俊晴

文献摘要

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