固相成長Ge薄膜の熱処理過程制御による移動度向上機構の解明”
固相成長Ge薄膜の熱処理過程制御による移動度向上機構の解明”
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通过控制固相生长Ge薄膜的热处理工艺阐明迁移率改善机制”
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
都甲 薫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
今城 利文;末益 崇;都甲 薫
