Ti/SiOおよびTi/Siスパッタ多層膜の発熱性能比較
Ti/SiOおよびTi/Siスパッタ多層膜の発熱性能比較
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Ti/SiO与Ti/Si溅射多层薄膜的发热性能比较
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
井上敬太，金築俊介，三宅修吾，井上尚三，生津資大
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Sadakata;K. Oshima;H. Asano;Y. Shiraishi;and N. Toshima;井上敬太，金築俊介，三宅修吾，井上尚三，生津資大
