Fabrication of high-Q ring resonator using low loss GeOI wafer

Fabrication of high-Q ring resonator using low loss GeOI wafer
复制标题

使用低损耗 GeOI 晶圆制造高 Q 环形谐振器

DOI:
--
复制
发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
and M. Takenaka
and M. Takenaka
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Z. Zhao;C. P. Ho;S. Takagi;and M. Takenaka

文献摘要

相似文献