Fabrication of high-Q ring resonator using low loss GeOI wafer
Fabrication of high-Q ring resonator using low loss GeOI wafer
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使用低损耗 GeOI 晶圆制造高 Q 环形谐振器
DOI:
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发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
and M. Takenaka
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Z. Zhao;C. P. Ho;S. Takagi;and M. Takenaka