MEMS/NEMS工学全集, 桑野博喜監修, テクノシステム
MEMS/NEMS工学全集, 桑野博喜監修, テクノシステム
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MEMS/NEMS 工程全集，由 Techno System 的 Hiroki Kuwano 监督
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小野崇人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大平充宣;後藤勝正;小野崇人
