A nanoindentation-based statistical evaluation scheme for mechanical change in plasma-irradiated dielectric films
A nanoindentation-based statistical evaluation scheme for mechanical change in plasma-irradiated dielectric films
复制标题
基于纳米压痕的等离子体辐照介电薄膜机械变化统计评估方案
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Koji Eriguchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takahiro Goya;Tomohiro Kuyama;Keiichiro Urabe;Koji Eriguchi
