脱ガス処理後の真空 封止と内部残留ガス ゲッタリングが可能 な MEMS 封止用金属接合膜の開発
脱ガス処理後の真空 封止と内部残留ガス ゲッタリングが可能 な MEMS 封止用金属接合膜の開発
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开发出可真空密封、脱气处理后可吸除内部残留气体的MEMS密封用金属接合膜
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高木秀樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
狩谷真悟;松前貴司;倉島優一;日暮栄治;早瀬仁則;高木秀樹
