HEMTと空洞共振器を用いたΔΣ型マイクロフォンセンサ
HEMTと空洞共振器を用いたΔΣ型マイクロフォンセンサ
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使用 HEMT 和空腔谐振器的 ΔΣ 型麦克风传感器
DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
前澤宏一
中科院分区:
文献类型:
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作者:
山岡昂博;藤野舜也;山岸凌;山川雅暉;島田知輝;森雅之;前澤宏一