江田 弘, 周 立波, 中野博民, 近藤 良, 清水 淳, 田島琢二: "大口径φ300mmSiウエハ用超加工機械の開発"精密工学会誌. 67・10. 1693-1697 (2001)
江田 弘, 周 立波, 中野博民, 近藤 良, 清水 淳, 田島琢二: "大口径φ300mmSiウエハ用超加工機械の開発"精密工学会誌. 67・10. 1693-1697 (2001)
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Hiroshi Eda、Libo Zhou、Hirotami Nakano、Ryo Kondo、Jun Shimizu、Takuji Tajima：“大直径 φ300mm 硅晶片的超级加工机的开发”日本精密工程学会杂志 67・10。 (2001)
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