T. Miyoshi, Y. Takaya, K. Saito: "Nanometer measurement of silicon wafer surface texture based on Fraunhofer diffraction pattern" Annals of the CIRP. 44/1. 489-492 (1995)
T. Miyoshi, Y. Takaya, K. Saito: "Nanometer measurement of silicon wafer surface texture based on Fraunhofer diffraction pattern" Annals of the CIRP. 44/1. 489-492 (1995)
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T. Miyoshi、Y. Takaya、K. Saito：“基于弗劳恩霍夫衍射图样的硅晶片表面纹理的纳米测量” CIRP 年鉴。
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