定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第14報)-コヒーレント結像逐次再構成型超解像法-
定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第14報)-コヒーレント結像逐次再構成型超解像法-
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利用驻波位移对半导体晶片表面进行超分辨率光学缺陷检查（第14次报告） - 相干成像顺序重建超分辨率方法 -
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
工藤良太,高橋哲,高増潔,臼杵深
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大岡健人;原 安寛;山村和也;工藤良太,高橋哲,高増潔,臼杵深
