マイクロ波励起型窒素原子源によるAlNトンネルバリアの作製
マイクロ波励起型窒素原子源によるAlNトンネルバリアの作製
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利用微波激发氮原子源制备 AlN 隧道势垒
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
井上裕文
中科院分区：
文献类型：
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作者：
遠藤光;野口卓;マティアスクロッグ;小嶋崇文;井上裕文
