木下 治久: "Generation of High-Density O_2 Supermagnetron Plasma on Lower Cathode by RF Power Supply to Upper Cathode" Journal of Vacuum Science & Technology. (1993)
木下 治久: "Generation of High-Density O_2 Supermagnetron Plasma on Lower Cathode by RF Power Supply to Upper Cathode" Journal of Vacuum Science & Technology. (1993)
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Haruhisa Kinoshita:“通过向上阴极提供射频电源在下阴极产生高密度 O_2 超磁控等离子体”真空科学与技术杂志 (1993)。
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