M.Nishizawa et al.: "Chlorosilane adsorption on clean Si surfaces : Scanning tunneling microscopy and Fourier-transform infrared adsorption spectroscopy studies"J. Vac. Sci. Technol.. A19. 2001-2006 (2001)
M.Nishizawa et al.: "Chlorosilane adsorption on clean Si surfaces : Scanning tunneling microscopy and Fourier-transform infrared adsorption spectroscopy studies"J. Vac. Sci. Technol.. A19. 2001-2006 (2001)
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M.Nishizawa 等人：“清洁硅表面上的氯硅烷吸附：扫描隧道显微镜和傅里叶变换红外吸附光谱研究”J.
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