アンテナ発振非接触圧電センサによる薄膜の形態変化モニタリング手法の開発
アンテナ発振非接触圧電センサによる薄膜の形態変化モニタリング手法の開発
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开发一种利用天线振荡非接触式压电传感器监测薄膜形态变化的方法
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
平尾雅彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
白岩裕一郎;橋里駿;中村暢伴;荻博次;平尾雅彦
