Fabrication of GaAs Devices
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DOI：
10.1049/pbep006e
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发表时间：
2005-06
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A. Baca;C. Ashby
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Baca;C. Ashby
这本书提供了GaAs加工的各个方面的基本和实用信息。这本书也给务实的意见，清洁和钝化，湿和干蚀刻和光刻，干蚀刻。
This book provides fundamental and practical information on all aspects of GaAs processing. The book also gives pragmatic advice on cleaning and passivation, wet and dry etching and photolithography, and dry etching.