高圧真空紫外エキシマランプ
高圧真空紫外エキシマランプ
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高压真空紫外准分子灯
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
窪寺昌一,加来昌典,池畑聡和
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masanori Kaku;Yoshihiro Ezaki;Takumi Daikyuji;Kazuyuki Fujiyoshi;Masahito Katto;Shoichi Kubodera;and Kenzo Miyazaki;窪寺昌一,加来昌典,池畑聡和
